2200C Κούφος αποθήκευσης ατμών υπό κενό για πυρολυτική κάλυψη άνθρακα των ημιαγωγών συσκευών

                                                       Φούρνος αποθέσεως ατμών υπό κενό

Φούρνος αποθέσεως ατμών υπό κενό υψηλής θερμοκρασίας 2200C για πυρολυτική κάλυψη άνθρακα ημιαγωγικών συσκευών Φούρνος CVD,

Βασικά χαρακτηριστικά:

Χρήση κλιβάνου εναπόθεσης ατμού: Αυτός ο ενσωματωμένος κλιβάνος εναπόθεσης ατμού μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την χημική εναπόθεση ατμού σύνθετων υλικών με αέριο ντροκαρβονίου (όπως C3H8),Ειδικότερα, οι εργοστάσια που χρησιμοποιούνται για την κατασκευή υλικών με σύνθετα υλικά C/C, SiC και C/C συνθετικών υλικών χρησιμοποιούνται για την επεξεργασία υλικών με σύνθετα υλικά C/C, SiC συνθετικά υλικά, επεξεργασία επιφανειακής ανθρακούχωσης των εξαρτημάτων γραφίτη και παραγωγή γραφενίου.

Σκοπός του φούρνου αποθέσεως ατμών:

Ο ενσωματωμένος φούρνος αυτός μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την χημική εναπόθεση ατμών σύνθετων υλικών με αέριο ντροκαρβονίου (όπως C3H8, κλπ.) ως πηγή άνθρακα,όπως η καρδιαγγειακή νόσος, επεξεργασία CVI των συνθετικών υλικών C/C, των συνθετικών υλικών SiC, επεξεργασία επιφανειακής ανθρακούχωσης των τμημάτων γραφίτη και παραγωγή γραφενίου.

Χαρακτηριστικά του κλιβάνου εναπόθεσης ατμών:

Ο πολυλειτουργικός σχεδιασμός υψηλής θερμοκρασίας μπορεί να επιτύχει χημική εναπόθεση ατμών και επεξεργασία γραφιτισμού ταυτόχρονα.

Η θερμοκρασία λειτουργίας είναι τόσο υψηλή όσο 2600, και μπορεί να λειτουργήσει σταθερά και αξιόπιστα για μεγάλο χρονικό διάστημα.

Το σύστημα αυτόματης μετατροπής μέτρησης θερμοκρασίας σε συνδυασμό με θερμοσύνθετα ζεύγη και υπέρυθρα θερμόμετρα μπορεί να πραγματοποιήσει την απεικόνιση και τον έλεγχο ολόκληρου του εύρους θερμοκρασίας.

Το σύστημα ελέγχου μετατροπής συχνότητας θερμαντικής επαγωγής που χρησιμοποιεί IGBT ως κύρια συσκευή ισχύος καθιστά τον εξοπλισμό εξοικονόμησης ενέργειας και εξοικονόμησης ενέργειας,με μικρά αρμονικά στοιχεία και χωρίς παρεμβολές σε εξωτερικό εξοπλισμό.

Η ακριβής απεικόνιση ροής και ο έλεγχος του αερίου εισόδου και εξόδου εξασφαλίζουν τη σταθερότητα του προϊόντος.

Χρησιμοποιείται ο ειδικός θάλαμος αποθέματος δομής, ο οποίος έχει καλή επίδραση σφράγισης και ισχυρή ικανότητα κατά της ρύπανσης

Χρησιμοποιείται η πολλαπλή διαδρομή αερίου εναπόθεσης, το πεδίο ροής είναι ομοιόμορφο, δεν υπάρχει νεκρή γωνία εναπόθεσης και το αποτέλεσμα εναπόθεσης είναι καλό.

Το ειδικό σύστημα φιλτραρίσματος μπορεί να επεξεργαστεί αποτελεσματικά την πίσσα, τη στερεή σκόνη, το οργανικό αέριο κλπ. που παράγονται κατά τη διαδικασία αποθέσεως άνθρακα.

Τεχνικές παραμέτρους του κλιβάνου εναπόθεσης ατμών: