| Μέγεθος της περιοχής εργασίας (διάμετρος * ύψος mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Τελικό κενό (Pa) | 1*10- 41*10-3 | 1*10- 41*10-3 | 1*10- 41*10-3 |
| Μέγιστη θερμοκρασία (°C) | 2400. 2500 | 2400. 2500 | 2400. 2500 |
| Ομοιότητα θερμοκρασίας (°C) | ±7.5 | ±7.5 | ±7,5 ±10 |
| Ταχύτητα αύξησης της πίεσης (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |